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無塵室工程,,亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ),。沒有無塵室,,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn),。在 FED-STD-2里面,無塵室被定義為具備空氣過濾,、分配,、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子,、有害空氣,、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度,、潔凈度,、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布,、噪音振動及照明,、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計之房間,。
無塵室的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),,否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無塵室:
⑴天花板系統(tǒng) 包括吊桿(Ceiling rod),、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe),。
⑵空調(diào)系統(tǒng) 包括空氣艙,、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等,。
⑶隔墻板(Partitional wall) 包括窗戶,、門。
⑷地板 包括高架地板或防靜電地板,、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面,。
⑸照明器具 包括日光燈、黃色燈管等,。
⑹無塵室之建筑主體構(gòu)造 一般是用鋼筋或骨水泥,,但無論是何種構(gòu)造,必須滿足如下之條件:
A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕,;
B.不易產(chǎn)生微塵粒子,,且很難附著粒子;
C.吸濕性??;
D.為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高,;