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世界各國均有自定規(guī)格,但普遍依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】,,可將無塵室分為六級,。分別是1級、10級,、100級,、1000級、10000級,、100000級,,如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述,則可假設塵粒的尺寸為0.5μm,,例如,1級,、10級,、100級無塵室最大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆,、100顆,,如果塵粒尺寸不是0.5μm,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示,。例如:10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下,,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下,,密度不大于35顆/立方英尺)